Hva er den flate kanten på en silisiumplate?
Flat kan også kalles en posisjoneringskant.
2, 4 og 6-tommers silisiumskiver er ikke helt runde, men har et manglende hjørne kuttet av. Etter at silisiumblokken er trukket ut ved hjelp av CZ-metoden, før den kuttes i silisiumskiver, når krystallretningen er bestemt, vil en eller flere flate kanter kuttes på barren med en diamantsag. Derfor har silisiumplaten 1-2 posisjoneringskanter, den lange posisjoneringskanten er på bunnen av skiven, og den korte posisjoneringskanten er ikke fiksert i posisjon, og endres med krystallorienteringen og dopingtypen.
Hva er forholdet mellom posisjoneringskantposisjonen og krystallorienteringen?
Det er generelt tre typer krystallorienteringer for silisiumskiver:<111> <110> <100>.
Når vinkelen mellom hovedposisjoneringskanten og den sekundære posisjoneringskanten er 45 grader, er silisiumwafertypen n-type<111>; når vinkelen mellom hovedposisjoneringskanten og den sekundære posisjoneringskanten er 90 grader, er silisiumwafertypen p-type<100>; når vinkelen mellom hovedposisjoneringskanten og den sekundære posisjoneringskanten er 180 grader, er silisiumwafertypen n-type<100>. Siden<110>Krystallorientering er ikke en vanlig silisiumwafer-krystallorientering, det er ingen standard for å representere det. De<110>krystallorientering kan representeres i henhold til silisiumwaferleverandørens egne standarder.
Er lengdene på de primære og sekundære posisjoneringskantene faste?
Ja, fordi de må samsvare med halvlederproduksjonsutstyr, er lengdene og posisjonene til de primære, primære og sekundære posisjoneringskantene faste.
Vanligvis er lengden på den primære posisjoneringskanten til en 2-tommers silisiumplate 15,8 mm, lengden på den primære posisjoneringskanten til en 4-tommers silisiumplate er 32,5 mm, og lengden på den primære posisjoneringskanten til en 6-tommers silisiumplate er 57,5 mm. Lengden på den sekundære posisjoneringsflate kanten på en 4-tommers silisiumplate er omtrent 18 mm, og lengden på den sekundære posisjoneringsflate kanten på en 6-tommers silisiumplate er omtrent 22 mm.