Hva er ensartetheten til tynnfilmavsetning?
Tynnfilmens ensartethet refererer til konsistensen av tykkelsesfordelingen til den tynne filmen over hele waferen. God ensartethet betyr at tykkelsen på den tynne filmen er veldig nær ved hver posisjon på waferen.
Hva er typene tynnfilmensartethet?
Vanligvis vurderes følgende typer:
●Ensartethet innenfor wafer: Ensartethet i en enkelt wafer.
●Wafe-til-wafer uniformitet: Ensartethet mellom ulike wafere.
●Ensartethet fra lot til parti: Ensartethet mellom ulike partier av wafere.
Hvordan beregnes ensartethet?
Med ensartethet innenfor wafer som et eksempel, beregnes standardavviket ved hjelp av formelen:
Denne formelen beregner kvadratroten av gjennomsnittet av kvadrerte forskjeller mellom hvert datapunkt og gjennomsnittet av dataene.
σ (standardavvik): Representerer graden av spredning av dataene; jo større standardavvik, jo større spredning.
N: Totalt antall målte datapunkter.
ti: Tykkelsesverdien til ith-datapunktet.
Mener: Gjennomsnittsverdien av alle datapunkter.
(ti−Mean)^2: Kvadratforskjellen mellom hvert datapunkt og gjennomsnittet.
∑: Oppsummering.
Formelen er litt vanskelig å forstå, så her er et eksempel:
Anta at vi har et sett med datapunkter for tynnfilmtykkelse: 55.1, 54.8, 55.3, 54.9, 55.0, 54.7, 55.2, 54.9, 55.1, 54.8.
●Regn først ut gjennomsnittet av disse 10 poengene: Gjennomsnittlig=54.98.
●Deretter beregner du kvadratforskjellen mellom hver tykkelse og gjennomsnittet: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Summer disse kvadratiske forskjellene og finn gjennomsnittet: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Til slutt beregner du standardavviket: σ=0.193.
