Hva er hensikten med rengjøring av silisiumwafer?

Silisiumskiver må rengjøres strengt ved produksjon av halvlederenheter. Sporforurensning kan også føre til enhetsfeil. Så hva er hensikten med rengjøring av silisiumwafer?
Formålet med rengjøring av silisiumplater er å fjerne urenheter fra overflateforurensning, inkludert organiske og uorganiske stoffer. Noen av disse urenhetene eksisterer i atomtilstand eller ionetilstand, og noen finnes i form av tynne filmer eller partikler på overflaten av silisiumplaten. føre til ulike defekter.