Behandlingsteknologi av monokrystallinsk silisiumplate

Fôring → Smelting → Nakkevekst → Skuldervekst → Isometrisk vekst → Halevekst
(1) Fôring: Legg polysilisiumråmaterialet og urenheter i kvartsdigelen. Typen urenheter avhenger av N- eller P-typen til motstanden. Typene urenheter er bor, fosfor, antimon og arsen.
(2) Smelting: Etter å ha tilsatt polysilisiumråmaterialer i kvartsdigelen, må krystallvekstovnen lukkes og evakueres, deretter fylles med høyrent argon for å opprettholde et visst trykkområde, og deretter slå på strømmen til grafittvarmeren for å varmes til smeltetemperaturen (1420 grader), polysilisiumråmaterialet smeltes.
(3) Nakkevekst: når temperaturen på silisiumsmelten er stabil, dypp frøkrystallen sakte ned i silisiumsmelten. På grunn av den termiske spenningen når frøkrystallen er i kontakt med silisiumsmeltefeltet, vil det genereres dislokasjoner i frøkrystallen, og disse dislokasjonene må elimineres ved halsvekst. Halsvekst er å raskt løfte frøkrystallen opp, slik at diameteren på den vokste frøkrystallen reduseres til en viss størrelse (4-6mm). Siden dislokasjonslinjen danner en vinkel med vekstaksen, så lenge halsen er lang nok, kan dislokasjonen vokse ut av krystalloverflaten, og produsere en krystall med null dislokasjoner.
(4) Skuldervekst: Etter at den tynne halsen er vokst, må temperaturen og trekkhastigheten senkes slik at diameteren på krystallen gradvis øker til ønsket størrelse.
(5) Vekst med lik diameter: Etter at den tynne nakken og skuldrene er vokst, kan diameteren på barren opprettholdes mellom pluss eller minus 2 mm ved å justere trekkhastigheten og temperaturen kontinuerlig. Delen med fast diameter kalles isodiameterdel. Monokrystallinske silisiumskiver er tatt fra seksjoner med samme diameter.
(6) Halevekst: Etter at delen med lik diameter er dyrket, hvis barren skilles fra væskeoverflaten umiddelbart, vil den termiske spenningen forårsake dislokasjoner og glidelinjer i barren. Derfor, for å unngå dette problemet, må diameteren til barren gradvis reduseres til den blir en skarp spiss og skiller seg fra væskeoverflaten. Denne prosessen kalles halevekst. Den dyrkede krystallblokken løftes til det øvre ovnskammeret for å avkjøles i en periode og tas deretter ut for å fullføre en vekstsyklus.